Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии : методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций; учебное пособие / С. П. Курочка, А. А. Сергиенко ; М-во образования и науки РФ, Федеральное гос. авт. образовательное учреждение высш. проф. образования "Нац. исслед. технологический ун-т "МИСиС", Каф. технологии материалов электроники
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МИСиС, 2015Физическая характеристика: 81 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785876239402 Библиография: Библиогр.: с. 81.Предметная рубрика - Тема: Полупроводниковые наноструктуры -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство Другие классификации: З844.1-06я73-1Коллекция: НБР Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
На тит. л. и обл.: № 2589
Библиогр.: с. 81