Датчики давления. Технология изготовления полупроводниковых чувствительных элементов : учебное пособие / И.Н. Баринов, С.И. Торгашин, Б.В. Цыпин, В.С. Волков ; М-во образования и науки РФ, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. образования "Пенз. гос. ун-т" (ПГУ)
Другие варианты заглавия: : Технология изготовления полупроводниковых чувствительных элементовЯзык: русский.Выходные данные: Пенза : Изд-во ПГУ, 2016Физическая характеристика: 119, [1] с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785906855657 Библиография: Библиогр.: с. 119120 (23 назв.).Предметная рубрика - Тема: Датчики давления полупроводниковые -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство -- Технологическое проектирование Другие классификации: З323-503-02я73-1Коллекция: НБР Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 119120 (23 назв.)