Прецизионная фотолитография : методическая разработка для подготовки рабочих кадров с помощью контролирующих устройств "Эврика" и "Эпос" / Министерство электронной промышленности СССР ; составитель Т. И. Багаева
Язык: русский.Выходные данные: Москва : ЦНИИ "Электроника", 1986Физическая характеристика: 167 с : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 163.Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Учебные издания Другие классификации: З844.15-06я75 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 87-3/11933 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | ERR-289652 |
Библиогр.: с. 163