Алгоритмическое обеспечение подсистемы оптимизации технологического процесса производства изделий интегральной электроники : монография / [д.т.н., проф. И.Я. Львович, д.т.н., проф. Я.Е. Львович, д.т.н., проф. А.П. Преображенский и др.] ; Воронеж. ин-т высоких технологий - автоном. некоммер. образоват. орг. высш. образования, Панъевроп. ун-т (г. Братислава, Словакия)
Язык: русский.Выходные данные: Воронеж : Научная книга, 2016Физическая характеристика: 155 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785444608463 Примечания: Авт. указаны на обороте тит. л..Библиография: Библиогр.: с.142-151 (127 назв.).Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Технологические процессы | Интегральные схемы -- Производство -- Оптимизация Другие классификации: З844.15-06-642 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр.: с.142-151 (127 назв.)