Формирование функциональных слоев : учебное пособие; для студентов, обучающихся по направлениям "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника" / Ю.В. Панфилов ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)", Факультет "Машиностроительные технологиии", Кафедра "Электронные технологии в машиностроении"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020Физическая характеристика: 90, [2] с. : ил., табл. ; 24 см.ISBN: 978-5-7038-5350-4 Серия: Учебное пособие МГТУ им. Н.Э. Баумана Библиография: Библиогр.: с. 89.Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Нанесение в вакууме Другие классификации: З844.13-060.7я73-1Коллекция: НБР ; Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 89