Высоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР / А.В. Водопьянов, С.В. Голубев, Д.А. Мансфельд [и др.]
Язык: русский ; резюме, английский.Выходные данные: Нижний Новгород : [б. и.], 2010Физическая характеристика: 12 с. : ил. ; 21 см.Серия: Препринт ; N°800Примечания: Рез. на англ. яз..Библиография: Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.).Предметная рубрика - Тема: Нитриды галлия -- Травление -- Плазмохимические методы Другие классификации: З843.324.408Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2011-4/522 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 6911 | Доступно | 1-49775 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2011-4/522 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 6911 | Доступно | 3341130 |
Рез. на англ. яз.
Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.)