Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста : учебное пособие; для студентов старших курсов высших учебных заведений, аспирантов, исследователей и инженеров, работающих в области микроэлектронных технологий / В. Ю. Васильев
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург [и др.] : Лань, 2024Физическая характеристика: 340 с. : ил., табл., портр. ; 24 см.ISBN: 978-5-507-48885-8 Серия: Высшее образование Примечания: На задней соронке пер. авт.: В. Ю. Васильев, д-р хим. наук, проф..Библиография: Библиогр.: с. 321–338 (241 назв.).Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Осаждение из газовой фазы | Электроника пленочная -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.13-060.7я73-1 ; З843.08я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
На задней соронке пер. авт.: В. Ю. Васильев, д-р хим. наук, проф.
Библиогр.: с. 321–338 (241 назв.)