Фотолитография : Учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подгот. дипломир. специалистов 654300 "Проектирование и технология электрон. средств" / Г.Ф. Баканов, Г.В. Петрова ; М-во образования РФ, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ"
Язык: русский.Выходные данные: СПб. : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2002Физическая характеристика: 32,[3] с. : ил. ; 21 см.ISBN: 5-7629-0454-7 Серия: Учебное пособие Библиография: Библиогр. в конце кн..Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы | Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: ( ) З844.15-060.6я73-1 ; З844.15-06я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2004-4/14262 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 336 | Доступно | 721847 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2004-4/14262 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 336 | Доступно | 721848 |
производство ИС
Библиогр. в конце кн.