IV Международная конференция "Атомно-слоевое осаждение: Россия - 2023" (АСО - Россия - 2023), Махачкала, 15-18 сентября 2023 г. = 4th International сonference "Atomic Layer Deposition: Russia - 2023" (ALD - Russia - 2023), Makhachkala, 15-18 September 2023 : сборник тезисов докладов / Министерство науки и высшего образования РФ, Дагестанский государственный университет [и др.]
Параллельное заглавие: : z017914th International сonference "Atomic Layer Deposition: Russia - 2023" (ALD - Russia - 2023), Makhachkala, 15-18 September 2023, английскийЯзык: русский ; английский.Выходные данные: Махачкала : Изд-во ДГУ, 2023Физическая характеристика: 122 с. : ил., табл. ; 29 см.ISBN: 978-5-9913-0279-1 Примечания: Текст рус., англ..Библиография: Библиогр. в конце докл..Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Съезды, совещания и т.п -- Осаждение Другие классификации: З844.13-060.7я431(0)Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Текст рус., англ.
Библиогр. в конце докл.