Физика и технология тонких пленок : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / И. А. Аверин, А. Н. Головяшкин ; под общ. ред. Р. М. Печерской ; Федеральное агентство по образованию, Гос. образовательное учреждение высш. профессионального образования "Пензенский гос. ун-т"
Язык: русский.Выходные данные: Пенза : Изд-во Пензенского гос. ун-та, 2009Физическая характеристика: 170, [2] с. : ил., табл. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 155-156.Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Нанесение напылением в вакууме -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: ( rubbk ) З844.13-060.7я73-1 ; З844.13-060.7я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 2009-3/39449 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5140 | Доступно | 3055929 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 2009-3/39449 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5140 | Доступно | 3055930 |
Библиогр.: с. 155-156