Конспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем" / С.А. Гаврилов, А.Н. Белов, А.В. Железнякова ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МИЭТ, 2011Физическая характеристика: 172 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 978-5-7256-0652-2 Серия: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" Библиография: Библиогр.: с. 169-170 (27 назв.).Предметная рубрика - Тема: Наноструктуры -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Производство -- Химические методы Другие классификации: З844.1-060.7я73-2Коллекция: Национальная библиография ; НБР Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2011-3/35692 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5855 | Доступно | 3531916 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2011-3/35692 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 5855 | Доступно | 3531917 |
Библиогр.: с. 169-170 (27 назв.)