Подробности: Материалы и технология толстых пленок , Учеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электрон. и микроэлектрон.", по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электрон.", "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы"

Книга

Материалы и технология толстых пленок : Учеб. пособие для студентов вузов по направлению "Электрон. и микроэлектрон.", по спец. "Материалы и компоненты твердотел. электрон.", "Микроэлектрон. и полупроводниковые приборы" / В.З. Петрова, А.И. Тельминов, Р.Ф. Шутова ; Под. ред. к.т.н. А.И. Тельминова ; М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)

Автор: Петрова, Валентина Захаровна (д-р техн. наук ; 1931-), Автор Автор (Альтер.): Тельминов, Александр Ильич (1949-), Автор ;
Шутова, Раиса Фроловна, Автор Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭТ, 1997Физическая характеристика: 260 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 5-7256-0156-0 Библиография: Библиогр.: с. 256-258.Предметная рубрика - Тема: Толстые пленки -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школы | Толстые пленки -- Учебные издания для высшей школы Другие классификации: З844.15я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	98-3/3676 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		8108-10

Библиогр.: с. 256-258