Обзоры по электронной технике. Вып.472: Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике / Р.Р. Резвый, М.С. Финарев
Сводное описание: Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Язык: русский.Выходные данные: Б. м., 1977Серия: ; Вып.472Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи