Элионная технология в микро- и наноиндустрии : учебное пособие / М-во образования и науки РФ, Федеральное гос. авт. образовательное учреждение высш. проф. образования "Нац. исследовательский технологический ун-т "МИСиС", Каф. технологии материалов электроники ; [Г. Д. Кузнецов и др.]
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Изд. дом МИСИС, 2012Физическая характеристика: 127 с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 9785876235565 Библиография: Библиогр.: с. 95.Предметная рубрика - Тема: Электронные приборы -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Материалы -- Ионная имплантация | Твердые тела -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Ионная имплантация Другие классификации: ( ) З844.1-060.7я73-1 ; З85-06я73-1Коллекция: НБР Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 95