Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур : математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур с нанометровыми размерами; курс лекций / С.Ю. Юрчук ; М-во образования и науки РФ, Федер. гос. автоном. образоват. учреждение высш. проф. образования "Нац. исслед. технол. ун-т "МИСиС", Каф. полупровониковой электроники и физики полупроводников
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Издательский дом МИСиС, 2013Физическая характеристика: 44 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785876236623 Библиография: Библиогр.: с. 44.Предметная рубрика - Тема: Нанокристаллические материалы -- Учебные издания для высших учебных заведений | Наноструктуры -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Компьютерное моделирование | Нанотехнологии -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Математические основы | Литография -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.1-01с11я73-2 ; Ж6я73-2 ; Ж366я73-2 ; М831я73-2Коллекция: НБР Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 44