Тонкие пленки в электронике : Материалы II всесоюз. межотрасл. совещ.
Язык: русский.Выходные данные: М. ; Ижевск : Б. и., 1991Физическая характеристика: 84, [1] с. : ил. ; 20 см.Примечания: В надзаг.: Науч.-произв. об-ние "Техномаш", Центр. н.-и. технол. ин-т, НИИ вакуум.-электрон. машиностроения, АН СССР, Ин-т физ. химии, МГП ВНТОРЭС им А.С. Попова, Секция "Технология пр-ва и конструирования РЭА".Библиография: Библиогр. в конце докл..Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 91-4/10285 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5455231-10 |
В надзаг.: Науч.-произв. об-ние "Техномаш", Центр. н.-и. технол. ин-т, НИИ вакуум.-электрон. машиностроения, АН СССР, Ин-т физ. химии, МГП ВНТОРЭС им А.С. Попова, Секция "Технология пр-ва и конструирования РЭА"
Библиогр. в конце докл.