Электрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964-1982 гг.)
Язык: русский.Выходные данные: М. : ЦНИИ "Электроника", 1983Физическая характеристика: 56 с. : ил. ; 22 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 935Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 51-56.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6063615-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 51-56