ПРОБЛЕМЫ литографии в микроэлектронике : [Сб. ст.] / Отв. ред. к. ф.-м. н. Т.М. Махвиладзе
Язык: русский.Выходные данные: М. : Наука, 1987Физическая характеристика: 149 с. : ил. ; 24 см.Серия: Труды Института общей физики ; Т. 8Библиография: Библиогр. в конце ст.. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П7/2089 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5764851-10 |
Библиогр. в конце ст.