ГЕНЕРАЦИЯ аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требуемой чистоты : По данным отеч. и зарубеж. печати 1961-1988 гг. / В.М. Редин, В.И. Ушаков, В.И. Каракеян и др.
Язык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1989Физическая характеристика: 53 с., включ. обл. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 1466Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 50-53. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5788569-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 50-53