Очистка поверхности полупроводниковых пластин в производстве интегральных схем / Под ред. канд. техн. наук А.С. Белановского ; М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1971Физическая характеристика: 125 с. : ил. ; 22 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 293Примечания: Перед загл. авт.: Л.Ф. Ронская, Е.А. Бродянский, В.Д. Скубриев.Библиография: Библиогр.: с. 119-123. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7548994-10 |
Перед загл. авт.: Л.Ф. Ронская, Е.А. Бродянский, В.Д. Скубриев
Библиогр.: с. 119-123