Подробности: Элионная технология в микро- и наноиндустрии , курс лекций

Книга

Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций / Г.Д. Кузнецов, А.Р. Кушхов, Б.А. Билалов ; Федер. агентство по образованию, Гос. технол. ун-т Моск. ин-т стали и сплавов, МИСиС, Каф. технологии материалов электроники

Автор: Кузнецов, Геннадий Дмитриевич (д-р техн. наук), Автор Автор (Альтер.): Кушхов, Аскер Русланович, Автор ;
Билалов, Билал Аругович, АвторЯзык: русский.Выходные данные: Москва : Издательский дом МИСиС, 2008Физическая характеристика: 155 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр.: с. 155.Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Осаждение Другие классификации: З844.13-060.7я73-2Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Кол-во копий	Статус	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Обменный фонд, без заказа			Доступно	3763491
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	2008-3/34768 (Просмотр полки(Открывается ниже))	4620	Доступно	2798123
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	2008-3/34768 (Просмотр полки(Открывается ниже))	4620	Доступно	2798124

осаждение тонких пленок при воздействии электронов и ионов(элионная технология)

Библиогр.: с. 155