Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве : [Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ]
Язык: русский.Выходные данные: М. : Высш. школа, 1980Физическая характеристика: 181 с. : ил. ; 21 см.Издание: : 2-е изд., перераб. и доп.Серия: Профтехобразование Примечания: Загл. 3-го изд., перераб. и доп.: Термические процессы в микроэлектронике.Библиография: Библиогр.: с. 178.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 80-5/4510 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6397257-10 |
Загл. 3-го изд., перераб. и доп.: Термические процессы в микроэлектронике
Библиогр.: с. 178