МЕТАЛЛИЗАЦИЯ интегральных микросхем : Учеб. пособие по курсу "Технология интеграл. микросхем" / Н.А. Астахова, И.Н. Брылов, Г.П. Жигальский, В.В. Игнатьев ; Гос. ком. СССР по нар. образованию. Моск. ин-т электрон. техники
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭТ, 1990Физическая характеристика: 84 с. : ил. ; 20 см.Примечания: На обороте тит. л. авт.: Брылов И.Н., кандидаты техн. наук Игнатьев В.В., Астахова Н.А., к. ф.-м. н. Жигальский Г.П..Библиография: Библиогр.: с. 81. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 90-4/16936 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5497645-10 |
На обороте тит. л. авт.: Брылов И.Н., кандидаты техн. наук Игнатьев В.В., Астахова Н.А., к. ф.-м. н. Жигальский Г.П.
Библиогр.: с. 81