Процессы осаждения и свойства тонких слоев : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1977-1987 гг.)
Сводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 1988, Б. м.Физическая характеристика: 62 с. : ил.Серия: ; Вып. 1Библиография: Библиогр.: с. 57-62. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5810793-10 |
Библиогр.: с. 57-62