Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники : (По данным отеч. и зарубеж. печати)
Язык: русский.Выходные данные: М. : ЦНИИ "Электроника", 1982Физическая характеристика: 83 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 886Примечания: Авт. указан на обл.; В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 74-83. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6141954-10 |
Авт. указан на обл.
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 74-83