Технология материалов электронной техники : процессы химического осаждения из газовой фазы; учебное пособие / С.Е. Александров ; Федер. агентство по образованию, С.-Петерб. гос. политехн. ун-т
Язык: русский.Выходные данные: Санкт-Петербург : Изд-во Политехнического университета, 2005Физическая характеристика: 92 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр.: с. 91 (10 назв.).Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Осаждение из газовой фазы -- Учебные издания для высших учебных заведений Неконтролируемые предметные термины: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Технология производства -- Учебник для высшей школы Другие классификации: ( rubbk ) З843.08я73-1 ; З85-03я73-1 ; З844.13-060.7я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2006-4/33612 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 3085 | Доступно | 2305999 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2006-4/33612 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 3085 | Доступно | 2306000 |
Библиогр.: с. 91 (10 назв.)