Анодное окисление кремния
Язык: русский.Выходные данные: Новосибирск : Б. и., 1977Физическая характеристика: 25 с. : ил. ; 21 см.Серия: АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. Препринт Библиография: Библиогр.: с. 24-25.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 77-4/27204 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6466987-10 |
Библиогр.: с. 24-25