Приборостроение для микроэлектроники: технология, физика и диагностика тонкопленочных структур, компьютеризация приборов : (Материалы науч.-техн. семинара, дек. 1986 г.)
ДСП. Экз. № 31 Язык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1986Физическая характеристика: 48 с. ; 21 см.Серия: Тезисы докладов конференции ; Вып. 246Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр. в конце ст..Особенности распространения и использования: ДСП. Экз. № 31. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П11/2650 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5884649-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр. в конце ст.
ДСП. Экз. № 31