Ионная имплантация в технологии кремниевых приборов и интегральных схем
Язык: русский.Выходные данные: Москва : ЦНИИ Электроника, 1978Физическая характеристика: 80 с. : ил. ; 21 см.Серия: Зарубежная электронная техника ; 18 (188)Примечания: Описано по обл. На тит. л. только загл. сер.; Авт. указан на 3-й с.; В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 74-77. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П11/2814 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6499096-10 |
Описано по обл. На тит. л. только загл. сер.
Авт. указан на 3-й с.
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 74-77