Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок : Учеб. пособие; [Для студентов спец. 0567 "Полупроводниковое и вакуум. машиностроение"] / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностроения
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭМ, 1989Физическая характеристика: 54 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 53. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 89-4/15309 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-2244797 |
Библиогр.: с. 53