Доработка ионно-плазменной установки УРМЗ.279.014 системами контроля парциального давления газов в разрядной камере и толщины получаемых диэлектрических пленок = Modification of the ion-plasma installation urmz.279.014 by the monitoring systems of partial gas pressure in the discharging chamber and thickness of the obtained dielectric films / А.Г. Сергеев, А.А. Тарасов, А.В. Струин, О.А. Волонцевич
Параллельное заглавие: : Modification of the ion-plasma installation urmz.279.014 by the monitoring systems of partial gas pressure in the discharging chamber and thickness of the obtained dielectric filmsЯзык: русский.Выходные данные: Харьков : ИРЭ, 1980Физическая характеристика: 16 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 149Библиография: Библиогр.: с. 16.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 81-4/13645 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6221580-10 |
Библиогр.: с. 16