Физико-химические основы эпитаксиальных процессов : Учеб. пособие
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МИЭТ, 1977Физическая характеристика: 98 с. : ил. ; 19 см.Примечания: В надзаг.: Моск. ин-т электр. техники.Библиография: Список лит.: с. 96 (11 назв.).Предметная рубрика - Тема: Микроэлектронные схемы, интегральные -- Производство Другие классификации: ( rubbk ) В379.251я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран. | 78-4/19606 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6561399-20 |
В надзаг.: Моск. ин-т электр. техники
Список лит.: с. 96 (11 назв.)