Энергетические и конструктивные особенности установок СВЧ вакуумно-плазменного травления для создания устройств функциональной электроники с субмикронными размерами элементов
Язык: русский.Выходные данные: М. : Б. и., 1988Физическая характеристика: 44 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 14 (489)Библиография: Библиогр.: с. 42-43. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 89-4/1899 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5667153-10 |
Библиогр.: с. 42-43