Лазерная технология интегральных схем / Ю.Х. Гукетлев, А.А. Васенков, А.Г. Гарицын, В.В. Федоренко
Язык: русский.Выходные данные: М. : Радио и связь, 1991Физическая характеристика: 320 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 5-256-01033-6 Библиография: Библиогр.: с. 249-274 (365 назв.).Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 91-3/11910 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5365228-10 |
Библиогр.: с. 249-274 (365 назв.)