Автоматическая корреляция поля экспонирования в электронно-лучевой литографии
Язык: русский.Выходные данные: Черноголовка : Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов, 1988Физическая характеристика: 15 с. : ил. ; 22 см.Серия: Препринт Библиография: Библиогр.: с. 15. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 88-6/4841 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5667957-10 |
Библиогр.: с. 15