Электронно-ионные методы субмикронной технологии : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1972-1984 гг.) / Ю.Ф. Быдин, О.Г. Вендик, С.А. Иванов и др. ; [Науч. ред. Г.С. Хижа]
Язык: русский.Выходные данные: М. : ЦНИИ "Электроника", 1985Физическая характеристика: 40 с. : ил. ; 22 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 1101Примечания: в надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 38-40. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6280131-10 |
в надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 38-40