Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системах контактной металлизации полупроводниковых приборов : (По данным зарубеж. и отеч. печати за 1975-1987 г.)
Язык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1988Физическая характеристика: 60 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 1366Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 52-58.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5687648-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 52-58