Физические и физико-химические основы ионной имплантации : IV всерос. семинар, 9-11 июня 1998 г.; Тез. докл.
Язык: русский.Выходные данные: Н. Новгород : ННГУ, 1998Физическая характеристика: 117 с. ; 20 см.Примечания: В надзаг.: М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Нижегор. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского, Науч.-исслед. ин-т измер. систем им. Ю. Е. Седакова, Рос. фонд фундам. исслед.; На тит. л.: 80 лет ННГУ.Библиография: Библиогр. в конце докл..Предметная рубрика - Тема: Ионная имплантация -- Съезды, совещания и т.п. Неконтролируемые предметные термины: Ионное легирование - Физико-химические основыУДК: 621.7/.9.048.7:544(043.2), 3, rusДругие классификации: ( ) 55 ; ( ) 34.5 ; В373.1я431Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 98-3/8478 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 125778-10 |
В надзаг.: М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Нижегор. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского, Науч.-исслед. ин-т измер. систем им. Ю. Е. Седакова, Рос. фонд фундам. исслед.
На тит. л.: 80 лет ННГУ
На тит. л.: Федер. целевая программа "Гос. поддержка интеграции высш. образования и фундам. науки на 1997-2000 гг."
Библиогр. в конце докл.