Физико-технологические основы микроэлектроники : Сб. науч. тр. / Ташк. политехн. ин-т Абу Райхана Беруни ; [Редкол.: Р.С. Касымова (отв. ред.) и др.]
Язык: русский.Выходные данные: Ташкент : ТашПИ, 1985Физическая характеристика: 96 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр. в конце ст..Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 86-4/3255 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6293727-10 |
Библиогр. в конце ст.