Методы измерения и аппаратура для промышленного контроля качества полупроводниковых структур : Материалы Второго межвед. науч.-техн. совещания по метрике полупроводниковых структур. (18-20 сент. 1973 г.)
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1973Физическая характеристика: 60 с. ; 25 см.Серия: Министерство электронной промышленности СССР. ЦНИИ "Электроника". Тезисы докладов и рекомендации конференций, совещаний и семинаров ; Вып. 19Библиография: Библиогр. в конце статей. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П11/2650 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7751794-10 |
Библиогр. в конце статей