Высокоразрешающая неорганическая фотолитография / И.М. Гранкин, А.В. Коломейко, В.П. Погребняк
Язык: русский.Выходные данные: Киев : Вища школа. Изд-во при Киев. ун-те, 1983Физическая характеристика: 53 с. : ил. ; 20 см.Серия: Ученые вузов - производству Библиография: Библиогр.: с. 49-52 (45 назв.). Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 83-4/34489 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6310175-10 |
Библиогр.: с. 49-52 (45 назв.)