Осаждение диэлектрических и проводящих слоев из газовой фазы при пониженном давлении : (По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1970-1982 гг.) / А.С. Адонин, А.Н. Василищев, Л.С. Гарба, Л.Н. Михайлов
Язык: русский.Выходные данные: М. : ЦНИИ "Электроника", 1983Физическая характеристика: 52 с. : ил. ; 20 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 962Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 49-52.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6030329-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 49-52