Методы и средства контроля полупроводниковых и диэлектрических структур : Материалы науч.-техн. совещ. "Состояние и тенденции развития метрики полупроводниковых и диэлектрических структур", сент. 1986 г. / [Науч. ред. к. т. н. В.Г. Тугарин]
Язык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1986Физическая характеристика: 68 с. ; 21 см.Серия: Тезисы докладов конференций ; Вып. 232Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр. в конце докл.. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П11/2650 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5729210-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр. в конце докл.