Подробности: Численное моделирование диффузии примесей III и V групп в кремнии при высокотемпературной ионной имплантации

Книга

Численное моделирование диффузии примесей III и V групп в кремнии при высокотемпературной ионной имплантации / Т.В. Бондарева, В.И. Кольдяев, Л.Н. Александров

Автор: Бондарева, Татьяна ВладимировнаАвтор (Альтер.): Кольдяев, Виктор Исаакович ;
Александров, Леонид НаумовичЯзык: русский.Выходные данные: Новосибирск : Ин-т физики полупроводников, 1991Физическая характеристика: [1], 20 c. : ил. ; 19 см.Серия: Препринт ; 4Библиография: Библиогр.: с. 16-17.Предметная рубрика - Тема: Кремний -- Легирование ионное | Кремний -- Примеси -- ДиффузияКоллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	91-4/9815 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		8751570-10

Библиогр.: с. 16-17