Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества / Е.П. Прокопьев, С.П. Тимошенков, А.Л. Суворов и др.
Язык: русский ; резюме, английский.Выходные данные: М. : ИТЭФ, 2000Физическая характеристика: 19, [1] с. : ил. ; 21 см.Серия: Препринт ; 24-00Примечания: Рез. на англ. яз..Библиография: Библиогр.: с. 18-20.Предметная рубрика - Тема: Кремний-диэлектрик, система -- Производство | Кремниевые структуры -- Производство Неконтролируемые предметные термины: Микроэлектронные схемы интегральные - производствоУДК: 621.382.049.771.14.002.3:546.28, 3, rusДругие классификации: ( ) 47 ; ( ) 32.844.1 ; З852-06 ; З844.15-06Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2001-4/2337 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 2118 | Доступно | 116460 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2001-4/2337 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 2118 | Доступно | 116461 |
Рез. на англ. яз.
производство ИС
Библиогр.: с. 18-20