Плазменно-иммерсионная ионная имплантация (ПИИИ): физические основы, использование в технологиях / Д. А. Карпов, В. Н. Литуновский
Язык: русский ; резюме, английский.Выходные данные: Санкт-Петербург : ФГУП "Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры", 2009Физическая характеристика: 62 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 5-87911-095-8 Серия: Обзор ; О-104Примечания: Рез. на англ. яз..Библиография: Библиогр.: с. 57-62.Предметная рубрика - Тема: Материалы -- Плазменная обработка | Ионная имплантация Неконтролируемые предметные термины: плазменное нанесение покрытийДругие классификации: ( ) З844.1-060.7-1с3,0 ; Ж624 ; В373.1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2010-4/10368 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 3222 | Доступно | 1-3141981 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2010-4/10368 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 3222 | Доступно | 3226269 |
Рез. на англ. яз.
Библиогр.: с. 57-62