Микролитография : Принципы, методы, материалы; В 2 ч. / Пер. с англ. под ред. Р.Х. Тимерова ; Предисл. К.А. Валиева
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: М. : Мир, 1990-Физическая характеристика: 22 см.ISBN: 5030013725 Примечания: Перевод изд.: Microdevices / Wayne M. Moreau (New York; London). Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Перевод изд.: Microdevices / Wayne M. Moreau (New York; London)