Вакуумно-термическое получение тонких пленок : учебное пособие для студентов, обучающихся по направлению подготовки "Химия, физика и механика материалов" (профиль "Функциональные материалы и наноматериалы) (бакалавриат) / В. М. [т.е. М. В.] Залётин, А. Н. Васина ; М-во образования Московской обл., Междунар. ун-т природы, о-ва и человека "Дубна", Фак. естественных и инженерных наук, Каф. нанотехнологии и новых материалов
Язык: русский.Выходные данные: Дубна : Междунар. ун-т природы, о-ва и человека "Дубна", 2014Физическая характеристика: 64 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785898474119 Библиография: Библиогр.: с. 62 (10 назв.).Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Нанесение в вакууме Другие классификации: З844.13я73-1Коллекция: НБР Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 62 (10 назв.)