Элементарная база автоматических машин и оборудования , мехатронные модули микроперемещений технологических машин , учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 150400 "Технологические машины и оборудование"

By А.Б. Смирнов.
Санкт-Петербург Изд-во Политехнического университета 2008 .
171 с. 20.
978-5-7422-1882-1

Физические основы проектирования оборудования микроэлектроники (в вопросах и задачах) , учебное пособие , для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 200500 - "Электронное машиностроение" направления 654100 - "Электроника и микроэлектроника"

By В. В. Гусев.
Москва МИЭТ 2004 .
183 с. 20.
5-7256-0306-7