Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества

By Е.П. Прокопьев, С.П. Тимошенков, А.Л. Суворов и др..
М. ИТЭФ 2000 .
19, [1] с. , Рез. на англ. яз. 21.

Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем"

By С.П. Тимошенков, В.В. Калугин.
Москва МИЭТ 2011 .
199 с. 21.
978-5-7256-0663-8